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化學腐蝕法研究藍寶石晶體定向中的位錯缺陷

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化學腐蝕法研究藍寶石晶體定向中的位錯缺陷

發布日期:2019-11-11 00:00 來源:http://www.fjulhl.icu 點擊:

為了適應工業化藍寶石晶體定向的需求目前采用人工方法制備藍寶石晶體則成為獲得大直徑、高完整性和按要求晶面生長單晶的主要方法。藍寶石晶體的生長方法主要有:熔焰法Verneuil、提拉法(CZ法)、導膜法(EFG法)、感應溫場上移法(1FUS法)、動態凝固法(DGSM法)、溫梯法(TGT法)、熱交換法(HEM法)等。

制備外延GaN薄膜,目前主要的襯底材料有:藍寶石、SiC、硅等襯底材料。綜合多方面考慮,藍寶石是目前廣泛使用的襯底。

藍寶石是剛玉類寶石中的一個品種。天然藍寶石無色透明,多數是罕見的星光寶石。由于天然藍寶石少,化學成分不純和成本高,不能作為工業材料使用。人造藍寶石具有許多熱學、光學、電學和力學的優良性能,使它成為一種特殊的材料,有著重要的用途,吸引著人們在藍寶石的研制和藍寶石晶體定向應用等方面作了大量的工作。

藍寶石的主要化學成分是三氧化二鋁(A12O3),晶型為a-A12O3,分子量為101.94。在20℃時的密度為3.98g/cm3。其化學性能非常穩定,一般不溶于水,不受酸、堿腐蝕。藍寶石的硬度很高,為莫氏硬度9級,僅次于金剛石。它具有很好的透光性、熱傳導性和電氣絕緣性,力學機械性能好,并且具有耐磨和抗風蝕的特點。其熔點為2050℃,沸點為3500℃,最高工作溫度為1900℃。


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