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硅單晶錠定向儀

硅單晶錠定向儀

  • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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  • 發布日期:2015/11/10
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詳細介紹

硅單晶錠定向儀

DX-7C硅單晶錠定向儀

功能:此型儀器專門用于硅單晶錠的定向,和多線切割機配套使用,工作臺上有一對滾杠,晶錠放在滾杠上,其端面在x射線照射下定向。

特點:此儀器晶錠尾端和進口編碼器偶合,細分步到0.001°,用于測定晶錠旋轉角度。可進行四方位(0°、90°、180°270°)和二方位(0°、90°)測量。該儀器有一套電腦控制裝置,包括輸入鍵盤、屏幕和打印機,選擇屏幕菜單、鍵入晶錠編號。所需數據,產品要求的切割偏角等。經計算、顯示、打印出晶錠編號,晶錠在料板(工件板)上粘結所必須的自身旋轉角?及擺角&等值。

技術參數:

項目

參     數

輸入電源

單相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管電壓

30kV

管電流

0-5mA連續可調

接收器

蓋革計數器,工作電壓最高為DC1050V。

X射線管

銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

時間常數

1(快)、2(慢)兩檔

測定角度

2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

外形尺寸

1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

儀器重量

300kg

晶錠直徑

6-8英寸

晶錠最大長度

500mm

測定晶面

111向、100向

定向精度

±30"(用標準石英片10ī1面測量)

最小讀數

1"

晶錠轉角(?)

±90°±0.1°

 


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