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半導體籽晶X射線定向儀

半導體籽晶X射線定向儀

  • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2015/11/10
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詳細介紹

半導體籽晶X射線定向儀

DX-7型半導體籽晶X射線定向儀

功能:此型儀器主要用于硅單晶籽晶定向,也可用于其它半導體材料的籽晶定向。

特點:此儀器為雙側工作臺,右側工作臺用于對擬加工成籽晶的硅單晶錠的端面定向,然后在內圓切割機上切成籽晶條;左側工作臺用于對上述籽晶條進行定向。

技術參數:

項目

參     

輸入電源

單相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管電壓

30kV

管電流

0-5mA連續可調

接收器

蓋革計數器,工作電壓最高為DC1050V

X射線管

銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

測定角度

2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

綜合精度

±30″(用標準石英片10ī1面測量)

最小讀數

1

被測晶體尺寸

用于測定直徑為0.5-8英寸,≤30KG的硅單晶(錠)。

外形尺寸

1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

儀器重量

300kg

 


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